杨长青正在进行丁基卡必醇乙酸酯精馏操作 ■企业/供图
填补了国内电子化学材料领域多项空白,创造了非常可观的经济效益和良好的社会效益,为国家科技强国战略贡献自己的力量……杨长青电子化学品创新工作室成立于2021年,工作室现有成员6人,杨长青为学术带头人。杨长青从事化学试剂科研开发工作已有二十余年,经验丰富,擅长高纯试剂研发,期间获得电子化学品高纯盐酸的生产工艺和方法、电子化学品颗粒控制过滤器、防尘子盖、尿素提纯与装置、一种色谱纯乙腈的提纯方法、一种色谱纯甲醇的提纯方法等多项专利,曾荣获北京市经济技术创新标兵。
杨长青电子化学品创新工作室隶属于化工集团所属试剂所,是以国家科技发展为导向,以为社会发展服务为工作目标,以电子化学品和精细化工交叉融合为特色的研发团队。该团队以基础研究为支撑,立足于深厚的电子化学品研发与生产基础,着眼于国际先进技术,致力于先进电子化学材料研发。
“扩散源的项目产品属于专有化学品,扩散源是半导体器件生产的扩散工艺中不可缺少的一种微电子化学品,目前国内没有成熟的生产乳胶扩散源的厂家,试剂所是国内唯一一家可以稳定供货的专业制造商,单个产品的最大月产量为1.5吨。由于国家尚未出台相关标准,所以根据厂家要求,试剂所制定了各个产品规格和产品企业标准,并被厂家广泛认可。”杨长青介绍。
“新型扩散源系列产品包括硼铝源、磷源等,广泛应用于中高端特种半导体器件的掺杂工艺。”杨长青介绍,近年来,工作室在技术革新上做了很多工作,为了解决扩散源产品凝胶问题,对产品做了性能改进,彻底解决了粘度不稳定问题。“我们通过自主提纯原料,提高了原料的纯度,进一步降低了扩散源产品的金属杂质含量,提高了产品质量,减少了工时,降低了生产成本。”
“电子级丁基卡必醇乙酸酯提纯工艺研发”是试剂所承担化工集团服务首都功能,服务于微电子行业的科研开发课题。电子级丁基卡必醇乙酸酯主要作为其中的溶剂应用于电子浆料产品中。“目前我国丁基卡必醇乙酸酯的生产厂家多生产工业级产品,无法满足电子行业使用要求,高级别产品国内几乎没有生产厂家,主要依靠国外进口。”杨长青介绍,试剂所致力于打破国外技术封锁,成为国内首家电子级丁基卡必醇乙酸酯的生产厂家,现由工作室担当主力,承担攻坚克难任务。“目前项目正按照预期稳步进行,丁基卡必醇乙酸酯项目从前期的调研、试验摸索到后期设计图纸、精馏塔组装,管道连接,再到现在的中试环节,每一个步骤都是工作室人员上阵,每一个细节都凝结着工作室人员的心血。”杨长青说。
面对新形势、新机遇,杨长青电子化学品创新工作室紧跟国内外形式,继续潜心于新型技术研究,持续推进产品升级改造,强化成果转化力度,以科技创新引领公司可持续发展,为化工集团建成“国内知名的创新型企业集团”添砖加瓦,为国家科技强国贡献自己的一份力量。
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